第171章 都搞定了（第3页）

“可是，这样一来，紫外光的强度又成倍数增加，而且，因为碳的光学特性，使它被吸收的更多，这样原本激光光源能够达到要求吗？”

听到张振兴的话，陈阳忍不住感叹，不愧是研究芯片的，提的问题都一针见血！

“为了能够实现高强度的光刻，我们使用波长更短，更加“锋利”

的终极紫外光。”

“什么？终极紫外光？”

张振兴一脸的不解。

“没错。

紫外光的波长范围在1o-216纳米之间，之前使用的光源在197纳米的深紫外光，现在光刻机使用的都是13。

5纳米极紫外光源，而这还不够，我们用的终极紫外光就是紫外光的极限1o纳米终极紫外光。”

“不可能！

绝对不可能！”

张振兴脱口而出道。

“现在用激光轰击锡液滴获得13、5纳米的极紫外光已经是达到了极限，而且，耗电量达到了惊人的恐怖程度，若是想要获得波长更短，强度更大的终极紫外光，那耗电量岂不是比现在的还要高很多！

而且，还要求对光学掩膜发射器达到令人发指的地步，这些……都……”

“都已经突破了！

你没发现咱们的这个芯片工厂建在了黑龙基地旁边吗？等到可控核聚变电站运转，电量根本不是问题。”

“至于要求更高的光学掩膜，你看看这个。”

说完，陈阳把一个样品送到了张振兴面前。

“这是咱们现在利用芥子扫描显微镜下，动态化学法磨出的平整度±1o皮米的掩膜器，相当于一个太平洋那么大面积的玻璃，凹凸误差在1o皮米以下！

可以大幅度的反射终极紫外光，但是，对其他的光，却可以全部吸收！”

听到这话，张振兴震惊了！

看着那些东西，过了半晌才反应过来！

“这些技术您真的全都突破了？”

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